投稿論文がJournal of Applied Physics に掲載されました

産業総合研究所とスクリーンホールディングスとの共同研究論文、“Noncontact evaluation of electrical passivation of oxidized silicon using laser terahertz emission microscope and corona charging” T. Mochizuki, A. Ito, H. Nakanishi, K. Tanahashi, I. Kawayama, M. Tonouchi, K. Shirasawa, and H. TakatoがJournal of Applied Physics 125に掲載されました。

https://doi.org/10.1063/1.5083674

 

2019年04月11日