産業総合研究所とスクリーンホールディングスとの共同研究論文、“Noncontact evaluation of electrical passivation of oxidized silicon using laser terahertz emission microscope and corona charging” T. Mochizuki, A. Ito, H. Nakanishi, K. Tanahashi, I. Kawayama, M. Tonouchi, K. Shirasawa, and H. TakatoがJournal of Applied Physics 125に掲載されました。
https://doi.org/10.1063/1.5083674