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| テラヘルツ電磁波産業利用研究会 |
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研究設備
- 設備は全て共同研究に開放しています。
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テラヘルツ時間領域分光装置 (3-5式） |
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） テラヘルツ用冷凍機（他4式） |
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ファイバープローブLTEM |
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レーザーアブレーション装置（2式） |
スッパタリング装置 |
MBE |
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ECRイオンシャワー（エリオニクス） |
マスクアライナー（ZUSS) |
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RIE装置＆アッシャー |
ボンダー |
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蛍光X線分析装置(理学） |
X線回折装置（理学） |
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JT大型冷凍機
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超伝導マグネット |
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