設備は全て共同研究に開放しています。 ご利用に関してお気軽にご相談ください。

レーザーテラヘルツ エミッション顕微鏡 （LTEM）	クライオスタット付テラヘルスシステム	導波路型テラヘルツ時間領域分光システム
レーザー走査近接場 テラヘルツ分光 イメージングシステム	各種計測装置	ＪＴチャンバー
クライオスタット	1.5um帯フェムト秒ファイバレーザーシステム	QMC製高感度テラヘルツ検出器
Tsunami	CWグリーンレーザー	大塚電子製テラヘルツ分光システム
顕微レーザーラマン分光分析装置	クライオスタット
（アニール） 均圧熱処理装置	フェムト秒チタンサファイアレーザーMai Tai	フェムト秒チタンサファイアレーザーMai Tai
倍波ユニット	フェムト秒再生増幅器

 

OPO	TOPAS(OPA)	再生増幅器
AFM	高調波発生器	分光器
チタンサファイア レーザー	ロックインアンプ
クライオスタット	真空ポンプ

 

反応性 イオンエッチング装置	小型真空蒸着装置	マスクアライナー
電子線描画装置	超音波ワイヤーボンダ	小型ECRイオンシャワー 装置
蛍光Ｘ線分析装置	RFスパッター装置
X線回折装置	PLD製膜装置