平成16年度
国内学会
A)第51回応用物理学関係連合講演会
2004年3月28日〜3月31日 東京工科大学
1)「Fabrication and Characterization of Low-Density Porous SnO2 For Laser-Induced EUV Source」
谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、西村博明、西原功修、井澤靖和
2)「相変化、詳細なレーザー吸収過程を考慮したEUVプラズマ放射流体シュミレーション」
古河裕之、河村徹、砂原淳、島田義則、山浦道照、西川亘、蒲田幸平、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
3)「EUV光源開発のためのレーザープラズマ輻射シミュレーション」
蒲田幸平、西原功修、砂原淳、河村徹、古河裕之、佐々木明
4)「輻射流体シミュレーションによるレーザー生成プラズマからのEUV放射の解析」
砂原淳、西川亘、古河裕之、河村徹、蒲田幸平、西原功修、島田義則、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、山浦道照、内田成明、井澤靖和5)「半球状XeクライオターゲットからのEUV放射特性」
上田修義、松井亮二、西村博明、藤岡慎介、日比野隆宏、奥野智晴、陶業争、乗松孝好、内田成明、井澤靖和、長井圭治、重森啓介、中井光男、島田義則、山浦道照、橋本和久、谷勤翠、西原功修、砂原淳、古河裕之、河村徹、宮永憲明
6)「EUV光放射スペクトルのレーザー波長依存性評価」
山浦道照、内田成明、島田義則、橋本和久、山中千代衛、乗松孝好、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和、砂原淳、藤岡慎介、長井圭治、中井光男、重森啓介
7)「レーザー生成低密度化SnO2プラズマからのEUV放射特性」
奥野智晴、西村博明、藤岡慎介、日比野隆宏、松井亮二、上田修義、陶業争、内田成明、島田義則、山浦道照、橋本和久、F.L. Sohbatzadeh、中井光男、重森啓介、乗松孝好、長井圭治、谷勤翠、西原功修、河村徹、砂原淳、宮永憲明、井澤靖和8)「EUV放射プラズマの密度プロファイル計測」
藤岡慎介、西村博明、中井光男、重森啓介、島田義則、橋本和久、山浦道照、内田成明、松井亮二、日比野隆宏、奥野智晴、陶業争、長井圭治、乗松孝好、砂原淳、河村徹、村上匡且、西原功修、宮永憲明、中塚正大、井澤靖和
9) 「レーザー生成プラズマのEUV単色画像」
陶業争、S.L. Farshd、西村博明、松井亮二、日比野隆宏、奥野智晴、河村徹、藤岡慎介、上田修義、内田成明、島田義則、橋本和久、山浦道照、長井圭治、乗松孝好、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
B)第53高分子学会年次大会
2004年5月25日〜5月27日 神戸国際会議場
1)「ナノポーラス酸化スズターゲットによるレーザープラズマからの極端紫外線発生」
長井圭治
2)「Preparation of Nanocrystalline Porous Tin Oxide with Tunable Nanosize Window by Using Polystyrene Template」
谷勤翠
C)平成１５年度 EUVA成果報告会
2004年6月8日 コクヨホール
1)「文部科学省リーディング・プロジェクト「極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化」平成15年度研究成果概要の報告」
宮永憲明
D)平成15年度 文部科学省リーディング・プロジェクト「極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化」平成15年度研究成果報告会
2004年6月9日 日本科学未来館
1)「平成15年度成果概要」
井澤靖和
2)「EUVターゲット開発と実験データベース構築」
西村博明
3)「EUV変換効率のレーザー強度依存性と最適化」
西原功修
4)「EUV光源用高性能レーザーの開発」
中塚正大
5)「EUV放射プラズマの密度プロファイル計測とデブリ研究計画」
藤岡慎介、西村博明、中井光男、重森啓介、島田義則、橋本和久、山浦道照、内田成明、松井亮二、日比野隆宏、奥野智晴、陶業争、長井圭治、乗松孝好、砂原淳、河村徹、村上匡且、西原功修、宮永憲明、中塚正大、井澤靖和
6)「球状スズターゲットからのEUV放射観測と最適化」
島田義則、橋本和久、山浦道照、重森啓介、中井光男、藤岡慎介、内田成明、奥野智晴、日比野隆宏、上田修義、松井亮二、陶業争、長井圭治、乗松孝好、河村徹、砂原淳、西村博明、西原功修、宮永憲明、中塚正大、井澤靖和、山中千代衛
7)「Development of EUV monochromatic imager and EUV plasma observation」
陶業争、西村博明、藤岡慎介、中井光男、奥野智晴、藤原、上田修義、倉山、保田ゆづり、長井圭治、谷勤翠、木村、乗松孝好、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
8）「低密度酸化スズターゲットからのEUV放射特性とEUV領域のオパシティ計測」
奥野智晴、西村博明、藤岡慎介、上田修義、陶業争、内田成明、島田義則、山浦道照、橋本和久、中井光男、重森啓介、乗松孝好、長井圭治、谷勤翠、西原功修、砂原淳、宮永憲明、井澤靖和
9）「半球状XeクライオターゲットからのEUV放射観測」
上田修義、西村博明、松井亮二、藤岡慎介、日比野隆宏、奥野智晴、陶業争、長井圭治、乗松孝好、重森啓介、中井光男、島田義則、内田成明、山浦道照、橋本和久、谷勤翠、西原功修、砂原淳、古河裕之、河村徹、宮永憲明、井澤靖和
10）「スズターゲットからのEUV放射レーザー波長依存性」
山浦道照、内田成明、砂原淳、島田義則、橋本和久、山中千代衛、西原功修、西村博明、藤岡慎介、奥野智晴、重森啓介、長井圭治、乗松孝好、中塚正大、宮永憲明、井澤靖和
11）「レーザープラズマ方式EUV発生用、低密度スズ・低密度キセノンターゲットの製造方法に関する研究」
長井圭治、谷勤翠、乗松孝好、中井光男、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
12）「Preparation of Tin Dioxide with Controllable Density by Lyotropic Liquid Crystal Template for EUV Emission」
谷勤翠、長井圭治、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
13）「EUV光生成シミュレーションのための相対論効果を考慮した新しい遮蔽水素モデル」
西川 亘
14） 「レーザープラズマ中のEUV放射輸送シミュレーション」
蒲田幸平、西原功修、砂原淳、古河裕之、佐々木明、西川亘、藤間一美、河村徹15）「レーザー生成SnプラズマからのEUV放射の数値シミュレーション」
砂原淳16）「EUV光源としてのダブルアブレーションプラズマに対する簡易モデル」
村上匡且17）「相変化、詳細な状態方程式、レーザー吸収過程を考慮したEUVプラズマ放射流体シミュレーション」
古河裕之18）「高ピーク、高平均出力固体レーザー用 任意時間波形制御Ybファイバーレーザー前置増幅器」
吉田英次、椿本孝治、藤田尚徳、中塚正大、宮永憲明、井澤靖和、山下高雅、澤田久19）「高ピーク、高平均出力固体レーザー用増幅器の開発」
椿本孝治20）「高出力レーザー材料の開発」
藤本靖21）「高平均出力レーザー用光学部品の開発」
本越伸二
H)次世代リソグラフィワークショップNGL 2004 応用物理学会 次世代リソグラフィ研究会・シリコンテクノロジ分科会
1)「レーザー生成Snプラズマからの13.5nmEUV放射物理と変換効率向上 の指針（招待講演）」
西村博明
I)GCL/HPL 04 (15th Int. Conf. on Gas Flow and Chemical Lasers & High
Power Laser Symposium)
1)「Development of efficient EUV light source by laser-produced plasma, Prague」
井澤靖和
第65回応用物理学会学術講演会
2004年9月1日〜9月4日 東北学院大学（泉キャンパス）
1)「Fabrication of tin oxide (IV) with controllable density by using lyotropic liquid crystal template of hydroxypropyl cellulose」
谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和2)「EUV光源用低密度レーザーターゲットの製造」
長井圭治、谷勤翠、中井光男、乗松孝好、奥野智晴、陶業争、藤岡慎介、西村博明、中塚正大、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
3)「ロングパルスレーザー照射XeクライオターゲットからのEUV放射特性」
上田修義、西村博明、藤岡慎介、奥野智晴、陶業争、乗松孝好、内田成明、井澤靖和、長井圭治、島田義則、保田ゆづり、山浦道照、橋本和久、谷勤翠、西原功修、砂原淳、宮永憲明
4)「低密度SnO2ターゲットにおけるレーザー生成プラズマからのEUV放射特性」
奥野智晴、西村博明、藤岡慎介、陶業争、上田修義、内田成明、島田義則、山浦道照、橋本和久、保田ゆづり、乗松孝好、長井圭治、谷勤翠、砂原淳、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
5)Temporal evolution of laser-generated Sn Plasma by a high-resolution 13/5nm monochromatic imager」
陶業争、西村博明、中井光男、藤岡慎介、藤原隆史、奥野智晴、上田修義、保田ゆづり、谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、西原功修、宮永憲明、井澤靖和6)「輻射流体シミュレーションによるEUV放射の波長依存性解析」
砂原淳、西原功修、西川亘、佐々木明、古河裕之、蒲田幸平、山浦道照、藤岡慎介、島田義則、内田成明、橋本和久、西村博明、井澤靖和
7)「Nd:YAGレーザー4倍高調波光を用いたEUV光放射スペクトル特性」
山浦道照、内田成明、島田義則、橋本和久、砂原淳、山中千代衛、藤岡慎介、西村博明、奥野智晴、重森啓介、長井圭治、乗松孝好、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
8)「EUV光源プラズマ流体シミュレーションのための原子過程モデルとデータセット」
西川亘、佐々木明、古河裕之、砂原淳、西原功修
9)「EUV光源開発におけるデブリの評価」
古河裕之、S. I. Anisimov、B. S. Lukiyanchuk、藤岡慎介、西村博明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
10)「レーザー生成EUV放射プラズマからのイオン粒子の放出特性」
藤岡慎介、西村博明、奥野智晴、上田修義、陶業争、安藤強史、蔵山寛人、保田ゆづり、内田成明、島田義則、橋本和久、山浦道照、長井圭治、乗松孝好、砂原淳、古河裕之、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
11)「EUV光源用薄膜質量制限ターゲットの基礎特性」
内田成明、山浦道照、島田義則、橋本和久、砂原淳、山中千代衛、藤岡慎介、西村博明、奥野智晴、重森啓介、長井圭治、乗松孝好、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
第53回高分子討論会
「極端紫外光(EUV)発生ナノポーラスレーザーターゲット材料」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：Qincui Gu
第21回プラズマ・核融合学会年会
2004年11月23日〜11月26日 静岡県コンベンションアーツセンター「グランシップ」
1）「レーザー生成EUV放射プラズマからのデブリイオン粒子放射特性の評価」
藤岡慎介、西村博明、蔵山寛人、奥野智晴、上田修義、陶業争、谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、砂原淳、古河裕之、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
2）「レーザープラズマ生成EUV光のレーザーパルス幅・波長依存性」
島田義則、山浦道照、一木理史、佐藤陽介、内田成明、砂原淳、藤岡慎介、長井圭治、西村博明、乗松孝好、谷勤翠、西原功修、宮永憲明、井澤靖和、山中千代衛
3）「単色生レーザープラズマEUV発生ターゲットとその高繰り返し照射用ターゲット化」
長井圭治、谷勤翠、中井光男、乗松孝好、奥野智晴、陶業争、藤岡慎介、西村博明、島田義則、橋本和久、山浦道照、内田成明、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
4）「レーザー生成スズプラズマからのEUV光発生の放射流体シミュレーション」
砂原淳、西原功修、蒲田幸平、西川亘、佐々木明、古河裕之、島田義則、山浦道照、内田成明、藤岡慎介、西村博明、宮永憲明、井澤靖和
5）「新しい遮蔽水素モデルを用いたEUV放射プラズマの原子過程」
西川亘、佐々木明、砂原淳、古河裕之、西原功修6）「レーザー生成極端紫外(EUV)放射プラズマのダイナミックスと電子密度計測」
西村博明、陶業争、藤岡慎介、奥野智晴、上田修義、蔵山寛人、保田ゆづり、谷勤翠、長井圭治、乗松孝好、砂原淳、西原功修、宮永憲明、井澤靖和
6）「Preparation of low density (-10% of bulk) tin dioxide for laser induced
EUV emission」
谷勤翠
B)SPIE High Power Laser Ablation V
1)「Simulations on laser ablation and its applications」
古河裕之
2)SPIE High Power Laser Ablation V
「Dependence of EUV Emission Properties on Laser Wavelength」
発表者所属：レーザー総合技術研究所
発表者氏名：山浦道照
F)The Fifth Symposium of Nuclear Fusion Energy
1)「Synthesis and characterization of low-density nanoporous SnO2 for laser-induced
EUV emission」
Qincui Gu
G)SPIE High Power Laser Ablation V
1)「相変化、詳細なレーザー吸収過程を考慮したEUVプラズマ放射流体シミュレーション」
古河裕之
3rd International EUVL Symposium
「Estimations on Generation of High Energy Particles from LPP EUV Light Sources」
古河裕之
「Experimental Database of LPP EUV Sources at ILE and ILT」
宮永憲明
「Modeling of LPP EUV Light source at Japan MEXT Leading Project」
西原功修
「EUV Emission from Tin Plasmas Generated with 1.06, 0.53, and 0.26 μm Laser」
山浦道照
「Fabrication of target for LPP in Osaka university」
Qincui Gu
「Control of EUV Spectral Shape and Conversion Efficiency by the Use of Low-densty
Sn02 Targets」
奥野智晴
「A Novel Thin-foil Mass Limited Target for Laser-produced EUV Source Generation」
内田成明
「Influence of Drive Pulse Duration on EUV Emission Properties in Laser Produced
Tin Plasma」
島田義則
「Density Measurement of Extreme Ultraviolet Emission Region in Laser-produced
Tin Plasma」
陶業争
「Atomic Models for Radiation Transport in Laser Plasma Hydrodynamic 」
西川亘
「Numerical Analysis of Extreme Ultra-Violet Emission from Laser-produced Tin
Plasmas」
砂原淳
「Numerical Calculation of EUV Emission for LPP Scheme with Sn」
河村徹
11th symposium of intelligent electrophotonic materials and molecular electronics
「Tin dioxide synthesis by sol-gel of mineralization of simple cellulose derivatives
liquid crystals for laser-induced EUV emission」
Qincui Gu
雑誌名：電気学会 原子力研究会資料
巻頁：NE-04-15
「超高出力レーザー技術の産業応用」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：宮永憲明
雑誌名：Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology
巻頁：Vol.4, pp.407-419（2004）
「Laser Fusion Target Nanomaterials」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：K. Nagai
雑誌名：Applied Physics Letters
巻頁：Vol. 85, No. 11, pp.1919-1921（2004）
「Monochromatic Imaging and Angular Distribution Measurements of Extreme Ultraviolet
Light from Laser-Produced Sn and SnO2 Plasmas」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：Y. Tao
雑誌名：Physics of Plasmas
巻頁：Vol.11, No.5, Part 2, pp.2814-2822（2004）
「Suppression of Rayleigh-Taylor Instability due to Radiative Ablation in Brominated
Plastic Targets」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：藤岡慎介
雑誌名：Physical Review Letters
巻頁：Vol.93, No.19, pp.195001-1-195001-4（2004）
「Suppression of the Rayleigh-Taylor Instability Due to Self-Radiation in a Multiablation
Target」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：S. Fujioka
雑誌名：レーザー研究
巻頁：Vol.32, No. 4,, pp.252-258（2004）
「ホログラムによるレーザービームパターニングLaser Beam Shaping by Computer Generated Hologram」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：椿本孝治
雑誌名：レーザー研究
巻頁：Vol.80, No.7, pp.626-639（2004）
「レーザープラズマ実験用ターゲットの製作技術と新材料の利用Target Fabrication Technology and New Functional
Materials for Laser Fusion and Laser-Plasma Experiment」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：K. Nagai,
雑誌名：プラズマ核融合学会誌
巻頁：Vol.80, No.4, pp.325-330（2004）
「レーザー生成球体称Snプラズマからの極端紫外線(EUV)放射特性」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：西村博明
雑誌名：Fusion Sci. Technol.
巻頁：45 (2), 79-83,（2004）
「CONTROL OF MICRO- AND NANO-STRUCUTRE IN ULTRALOW-DENSITY HYDROCARBON
FOAM」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：長井圭治
雑誌名：プラズマ・核融合学会誌
巻頁：80 (7), 626-639（2004）
「レーザー核融合，レーザープラズマ実験用ターゲット製作技術と新材料の利用」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：長井圭治
雑誌名：Proc. SPIE
巻号頁：Vol.5448 - High-Power Laser Ablation, pp.872-884
「Simulations on laser ablation and its applications」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：Hiroyuki Furukawa
雑誌名：Proc. SPIE
巻号頁：Vol.5448 pp.1159-1164(2004)
「Dependence of EUV Emission Properties on Laser Wavelength」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：山浦道照
雑誌名：Transactions of the Materials Research Society of Japan
巻頁：Vol.29, No. 3, pp.943-946,（2004）
「Nanoporous and Low-Density Materials for Laser Produced Extreme UV Light Source」
発表者所属：大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
発表者氏名：K. Nagai