フェムト秒パルスレーザーによるレーザー加工は熱の発生が少ないため微細加工が可能で、加工分野への応用が期待されています。加工効率向上の手段として2016 年にIldayらが、GHz 繰り返しパルス列によるアブレーション冷却法を提案[1]しましたが、加工特性と詳細なレーザー条件等の関係がわかっておりません。我々は鍵となるレーザーパラメータ―解明のため、任意時系列制御が可能なファイバーレーザーシステムを開発し、実用化へ向けた研究を行っています。

[1]Fatih Ömer Ilday, et al,Nature537(2016)18619