Patents

Domestic

<Issued>
特許5929293 検査装置および検査方法 2016年06月01日
特許5904530 電磁波発生素子、電磁波発生装置および電磁波発生方法 2016年04月13日
特許5892597 検査装置および検査方法 2016年03月23日
特許5835795 検査方法および検査装置 2015年12月24日
特許5822194 半導体検査方法および半導体検査装置 2015年11月24日
特許5804362 検査装置および検査方法 2015年11月04日
特許5187843 半導体検査装置及び検査方法 2013年04月24日
特許5158920 光−磁束変換型入力インターフェース回路 2013年03月06日
特許4683869 半導体デバイスの故障診断方法と装置 2011年05月18日
特許4631704 半導体デバイスの電界分布測定方法と装置 2011年02月16日
特許4360687 物質検出装置及び物質検出方法 2009年11月11日
特許4001373 集積回路断線検査方法と装置 2007年10月31日
特許3896532 テラヘルツ帯複素誘電率測定装置 2007年03月22日
特許3536915 複合酸化物系単結晶薄膜の製造方法 2004年06月14日
特許2972862 超伝導光メモリー装置 1999年11月08日
特許2829378 超伝導体電磁波発生方法及び装置 1998年11月25日
<Under Application>
特開2016-133344 光強度設定方法、検査方法および検査装置 特願2015-006862
特開2016-072255 改質処理装置、改質モニター装置および改質処理方法 特願2014-196295
特開2016-007105 検査装置および検査方法 特願2014-127160
特開2015-184170 検査装置および検査方法 特願2014-061679
特開2015-152519 検査装置及び検査方法 特願2014-028573
特開2015-114145 検査装置および検査方法 特願2013-254807
特開2015-064271 光軸調整方法および検査装置 特願2013-197850
特開2015-040816 検査装置および検査方法 特願2013-173140
特開2015-017851 フォトデバイス検査装置およびフォトデバイス検査方法 特願2013-144127
特開2014-192444 検査装置および検査方法 特願2013-068325
特開2014-181975 フォトデバイス検査装置およびフォトデバイス検査方法 特願2013-055931
特開2014-175442 検査装置および検査方法 特願2013-046225
特開2014-167443 検査装置および検査方法 特願2013-039702
特開2014-153314 検査装置および検査方法 特願2013-025677
特開2014-009990 検査装置および検査方法 特願2012-145171
特開2014-009988 検査装置および検査方法 特願2012-145167
特開2009-238911 テラヘルツ光伝導基板、並びに、それを用いたテラヘルツ光検出装置、テラヘルツ光発 生装置、およびテラヘルツ光測定装置 特願2008-081158
特開2008-053373 光入力素子 特願2006-226977
特開2007-049042 光電磁波変換方法および強誘電体の分極状態検出方法 特願2005-233659
特開2006-086227 光スイッチ 特願2004-267405
特開2004-333331 レーザ波長計測方法、及びレーザ波長計測装置 特願2003-130482
特開2003-085980 光磁束変換素子,画像検出装置,画像記録装置,画像検出方法および画像記録方法
特願2001-270997 画像検出方法および画像記録方法
特開2000-258363 ミリ波・サブミリ波帯分光装置 特願平11-058702
特開2000-074954 超伝導電流検出装置 特願平10-262384
特開平08-264852 ジョセフソン素子の形成方法 特願平07-090339

Abroad

<Issued>
1. Inspection apparatus and inspection method; Patent number
US9383321
2. MODIFICATION PROCESSING DEVICE, MODIFICATION MONITORING DEVICE AND MODIFICATION PROCESSING METHOD; Patent number
US20160093539
3. Inspecting device and inspecting method; Patent number
US9234934
4. Inspecting device and inspecting method; Patent number
US9151669
5. INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD; Patent number
US20150276607
6. INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD; Patent number
US20150236642
7. Inspection apparatus and inspection method; Patent number
US9103870
8. INSPECTION APPRATUS AND INSPECTION METHOD; Patent number
US20150162872
9. INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD; Patent number
US20150053869
10. Inspection apparatus and inspection method; Patent number
EP2840382
11. Semiconductor inspection method and semiconductor inspection apparatus;
Patent number
US8941824
12. PHOTO DEVICE INSPECTION APPARATUS AND PHOTO DEVICE INSPECTION METHOD;
Patent number
US20150015297
13. Photo device inspection apparatus and photo device inspection method; Patent number
EP2824469
14. Inspection apparatus and inspection method; Patent number
US8872114
15. INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD; Patent number
US20140253911
16. Inspecting device and inspecting method; Patent Application Patent number
EP2775288
17. Inspecting device and inspecting method; Patent number
EP2772750
18. INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD; Patent number
US20140239182
19. INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD; Patent number
US20140002125
20. Inspecting device and inspecting method; Patent number
EP2679987
21. Electromagnetic radiation generating element, electromagnetic radiation generating device, and method of generating electromagnetic radiation; Patent number
US8530868
22.
 INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD; Patent number
US20130222004
23. Inspection apparatus and inspection method; Patent number
EP2631635
24. Element, device and method for generating electromagnetic radiation in the terahertz domain;Patent number
EP2607945
25. ELECTROMAGNETIC RADIATION GENERATING ELEMENT, ELECTROMAGNETIC RADIATION GENERATING DEVICE, AND METHOD OF GENERATING ELECTROMAGNETIC RADIATION; Patent number
US20130153793
26. SEMICONDUCTOR INSPECTION METHOD AND SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS; Patent number
US20130083319
27. Semiconductor inspection method and semiconductor inspection apparatus;
Patent number
EP2574906
28. INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD; Patent number
US20130015368
29. Inspection apparatus and inspection method; Patent number
EP2546634
30. SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD;
Patent number
US20110216312
31. Electric-field distribution measurement method and apparatus for semiconductor device;
Patent number
US7466151
32. Method and apparatus for diagnosing fault in semiconductor device; Patent number
US7173447
33. Method and device for measuring electric field distribution of semiconductor device;
Patent number
US20070018634
34. METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ELECTRIC FIELD DISTRIBUTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE; Patent number
EP1679522
35. Method and apparatus for diagnosing fault in semiconductor device; Patent number
US20060006886
36. Method and apparatus for inspecting wire breaking of integrated circuit;
Patent number
US6980010
37. METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ELECTRIC FIELD DISTRIBUTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE; Patent number
WO2005022180
38. Method and apparatus for inspecting wire breaking of integrated circuit;
Patent number
US20040246011
39.Method and apparatus for inspecting wire breaking of an integrated circuit; Patent number
EP1441233
40. Method for etching superconductor materials; Patent number
US4996191